会社沿革
| 2000年10月 | 国家公務員兼業制度利用第1号として古川保典がオキサイドを設立 （その後2003年10月、古川は（独）物質・材料機構を退職、社長業に専心） |
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| 2001年05月 | Super LN/LT新製品開発に成功（世界初） 国際展示会で販売開始 |
| 2002年04月 | 第14回中小企業長官賞受賞（中小企業優秀新技術・新製品） |
| 2003年07月 | 第32回日本結晶成長学会で技術賞受賞 |
| 2003年09月 | 東芝セラミックス株式会社（現 クアーズテック株式会社）と資本・事業提携 |
| 2005年05月 | 山梨県北杜市武川町に本社工場を新設・移転 |
| 2005年11月 | 第1回つくばベンチャー大賞受賞 |
| 2005年12月 | 光デバイス分野に進出 |
| 2006年04月 | 経済産業省「中小企業300社」賞受賞 |
| 2006年06月 | 株式会社ニコンと資本・事業提携 |
| 2006年08月 | 米KLA-Tencorと資本・事業提携 |
| 2006年08月 | 光モジュール分野に進出 |
| 2007年10月 | NTT-アドバンステクノロジー株式会社と資本・事業提携 |
| 2008年03月 | 本社工場隣接地に第２工場竣工 |
| 2008年07月 | 第33回井上春成賞受賞 |
| 2008年10月 | ISO9001認証取得 |
| 2008年12月 | レーザーテック株式会社と資本提携 |
| 2009年7月 | 経済産業省ものづくり日本大賞特別賞を受賞 |
| 2009年11月 | 第1回やまなし産業大賞受賞 |
| 2010年10月 | 横浜事業所開設 DUVレーザ事業開始 |
| 2010年11月 | 創立10周年記念シンポジウムを開催 |
| 2011年4月 | レーザー学会産業賞奨励賞を受賞 |
| 2012年4月 | 久保田ラボ、宮澤ラボ設立 |
| 2013年2月 | 266nmレーザ、ニューラインナップ発売開始 |
| 2013年4月 | Dr.SPECKLE、ニューラインナップ発売開始 |
| 2014年3月 | 経済産業省「グローバルニッチトップ企業100選」受賞 |
| 2015年3月 | 日立化成株式会社よりシンチレータ単結晶事業を譲受 |
| 2015年4月 | Dr.SPECKLEがレーザー学会産業貢献賞を受賞 |
| 2015年7月 | 北杜市内に第３工場竣工 |
| 2015年12月 | 創立15周年記念シンポジウムを開催 |
| 2016年1月 | Dr.SPECLEが機械振興協会「機械振興協会会長賞」を受賞 |
| 2018年4月 | 深紫外固体連続波レーザーがレーザー学会産業優秀賞を受賞 |
| 2018年8月 | 真空紫外レーザ事業開始 |
| 2021年2月 | Forbes JAPAN SMALL GIANTS AWARDにてグランプリ受賞 |
| 2021年4月 | 東京証券取引所マザーズ市場に上場 |
| 2021年10月 | 株式会社UJ-Crystalとの資本業務提携 |
| 2022年4月 | 東京証券取引所グロース市場に移行 |
| 2022年4月 | レーザー学会産業賞貢献賞を受賞 |
| 2022年5月 | LQUOM株式会社との資本業務提携 |
| 2022年11月 | 日本結晶成長学会技術賞を受賞 |
| 2023年1月 | 第9回ものづくり日本大賞優秀賞を受賞 |
| 2023年1月 | Raicol Crystals Ltd.の株式取得（子会社化）について合意 |
| 2023年1月 | LQUOM株式会社へ追加出資 |
| 2023年2月 | HTCS社と資本業務提携 |
| 2023年3月 | Raicol Crystals Ltd.の株式譲渡完了 |
| 2023年3月 | NIMS(国立研究開発法人物質・材料研究機構)とスタートアップ支援に向けて連携覚書締結 |
| 2023年3月 | 北杜市内に第４工場、第５工場を竣工 |
| 2024年9月 | 第4工場第2期工事完了 |